各種氦氣檢驗標準：
工業(yè)氦 GB/T 28123-2011
純氦 GB/T 4844-2011
高純氦 
 超純氦 
 電子工業(yè)用氣體氦 GB/T 16943-2009

高純氦氣國標規(guī)定內容：
高純氦氣事實上是一個化學及氣體行業(yè)名詞，高純氦氣，顧名思義，既是純度比較高的氦氣，那么什么標準才能稱之為高純氦氣呢？
高純氦氣產品的質量應符合下表要求。表中的“純度”、“含量”均為體積分數(shù)(V／V)。才能稱之為高純氦氣。高純氦氣的技術要求：
 項    目                     優(yōu)等品              一等品     合格品
 氦氣純度，10-2           ≥99.9996        99.9993     99.999
 氖含，lO-6               ≤ 1                 2               4
 氫含量，10-6              ≤ O.1              0.5            1
 氧(氬)含量，10-6         ≤ 0.5               1              1
 氮含量，10-6               ≤ 1                 1              2
 一氧化碳含量，1O-6     ≤ O.1               0.2          0.5
 二氧化碳含量，10-6      ≤ 0.2               O.2          0.5
 甲烷含量，10-6            ≤ 0.1               0.2           O.5
 水分含量，10-6            ≤ 1                   2             3