FIB測試，SEM測試:

FIB測試，SEM測試

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FIB測試

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FIB測試

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FIB測試

FIB測試，FIB檢測，

FIB 是英文 Focused Ion Beam的縮寫,依字面翻譯為聚焦離子束.簡單的說就是將Ga(鎵)元素離子化成Ga+, 然后利用電場加速.再利用靜電透鏡(electrostatic)聚焦,將高能量(高速)的Ga+打到指定的點. 基本原理與SEM類似,僅是所使用的粒子不同( e- vs. Ga +)FIB聚焦離子束是針對樣品進行平面、界面進行微觀分析。檢測流程包括：樣品制定、上機分析、拍照等，最后提供界面相片等數據。
主要用途：
1、電路修正, 用于驗證原型,改善bug，節省開支，增快上市時間。
2、縱面的結構分析可直接于樣品上處理,不需額外樣品準備。
3、材料分析-TEM樣品制備,用于精確定點試片制作,減低定點試片研磨所需人員經驗的依賴。
4、電壓對比、用于判定Metal(Via/Contact)是否floating。
5、Grain(晶粒)形狀大小的判定

SEM測試，SEM檢測。

1. 原理 

SEM的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品，在樣品表面激發出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關，也就是說與樣品的表面結構有關，次級電子由探測體收集，并在那里被閃爍器轉變為光信號，再經光電倍增管和放大器轉變為電信號來控制熒光屏上電子束的強度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標本的表面結構。

2. 性能

設備能夠滿足可以觀察直徑為0～200mm（8〞wafer）的試樣。     

放大倍率：×5～×300,000

設備能夠滿足可以觀察直徑為0～200mm（8〞wafer）的試樣。     
放大倍率：×5～×300,000

深圳市中天檢測技術有限公司（簡稱ZTT）是從事工業與消費產品測試、檢驗與驗證并具有第三方公正地位的專業檢驗機構。實驗室已取得中國合格評定國家認可委員會實驗室認可證書（CNAS ）、國家計量資質認定證書（CMA ）和國際運輸安全協會認證(ISTA )，實驗室依照國際標準ISO/IEC17025：2005《檢測和校準實驗室能力的通用要求》管理和運行，具備向社會出具公正性檢測報告的資格。

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