檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：多腔體高真空薄膜沉積系統
- 價格型號：
- 儀器分類：其他
- 應用領域：通訊產品;電子元器件
- 所屬單位：中山大學
- 所在地點：海珠區新港西路135號
- 產 地：
- 產 商：沈陽慧宇真空技術有限公司
- 價 值：0
- 購置日期：2011-01-01
主要技術指標
有機真空室極限真空度：1.5×10-7Pa；電子槍真空室極限真空度：1.1×10-5Pa；進樣真空室極限真空度：2.5×10-5Pa；樣品架可升降旋轉，樣品加熱：~600℃。
主要功能
有機光電子材料與器件制備，如有機發光材料薄膜器件的制備。
技術特色
多腔體互聯，高真空保持。
主要測試或應用領域
電子/信息技術
