檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：微波等離子體化學氣相沉積系統
- 價格型號：MPECVD-R2.0
- 儀器分類：其他
- 應用領域：建筑建材;禮品 工藝品
- 所屬單位：中山大學
- 所在地點：海珠區新港西路135號
- 產 地：
- 產 商：Woosin Cryo Vac Ltd.
- 價 值：0
- 購置日期：2012-04-23
主要技術指標
功率發生器2kW，2.45GHz；質量流量計10,30,50sccm；系統真空度優于1.0×10-6Torr；保壓12小時后真空度優于1.0×10-1Pa
主要功能
最大沉底加熱溫度900℃負偏壓電源電壓1000V電流1000mA
技術特色
金剛石薄膜的制備以及一些新型材料的生長設計
主要測試或應用領域
材料/珠寶首飾,其他
