聯系人：李潔(66135058)

儀器簡介：

　　該儀器可以精確地完成微米/納米壓痕、劃痕和磨損測試，并同時給出高分辨的SPM掃描圖像。其擁

有的Feedback Control軟件包可以完成力和位移控制條件下的準靜態試驗，而其nanoDMAⅡ組件則具

有對材料進行動態力學性能測試和模量成像的功能。此外，該系統還具有冷/熱變溫控制樣品臺。該系統

主要用于測試材料的微硬度、彈性模量、摩擦系數、蠕變、存儲模量、損失模量等。

主要技術指標：

　　1.高精密定位平臺

　　2.光學可變焦CCD攝像系統、電子減震臺和隔聲罩、計算機控制站

　　3.Feedback Control獨特軟件包

　　4.nanoDMA II動態力學分析系統

　　5.冷/熱變溫控制樣品臺-II

應用范圍：

　　原位納米力學測試系統應用于薄膜、多相材料及其晶界、復合材料及其界面、MEMS、生物材料等

各種材料在納米尺度上的力學性能表征，可實現精確定位條件下的原位測試。利用它，不僅可以在納米

尺度上開展材料力學行為的研究，還可以進行納米尺寸上的機械加工。

　　原位納米力學測試系統是目前國際上實現納米力學測試最有效的設備，是教學和深入開展微納米材

料和結構的物理、力學性能研究的必備實驗設備。