聯(lián)系人：朱文清(56334387)

儀器簡(jiǎn)介：

　　該設(shè)備主要用于在真空條件下蒸發(fā)各種有機(jī)薄膜。

主要技術(shù)指標(biāo)：

　　蒸發(fā)室尺寸：Φ400×620mm,極限真空：9×10-5Pa，基片旋轉(zhuǎn)速度4-40轉(zhuǎn)/分，連續(xù)可調(diào)。蒸發(fā)源采用電阻加熱，功率為2000W。基片進(jìn)出傳輸方式：手動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)。并配有膜厚監(jiān)控裝置，精度達(dá)到0.1A。

應(yīng)用范圍：

　　主要用于蒸發(fā)各種有機(jī)材料及金屬材料，用于制備各種有機(jī)電子器件。