聯系人：樓燕燕(18930057056)

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儀器簡介：

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　　從法國JOBIN YVON公司購買的UVISEL/460-VIS-AGAS橢圓偏振光譜儀。橢圓偏振儀的優越性：非破壞性測量、高精度、高重復性、可測量透明及半透明材料、不需要參比材料、非常靈敏，尤其對于超薄薄膜(<10nm)、多參量同時測定、可選擇波長測量等。測試過程是在一定光斑、波段、入射角下，檢測單色光經樣品反射后的偏振態變化(F、D)。然后建立模型、擬合測試數據，得到相應的薄膜厚度、光學特性(折射率、消光系數)、材料屬性等。

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　　橢圓偏振光譜儀要求樣品表面平整、光滑、鏡面反射效果越好，測試信號越強。對不透明樣品，測量厚度最厚是幾個微米、最薄是幾個納米，通常是有襯底支撐；對透明、半透明樣品，測量厚度最厚可達7毫米。橢圓偏振光譜儀測試的薄膜樣品通常的制備方法有濺射、化學氣相沉積、蒸鍍、溶膠-凝膠、陽極氧化等。

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主要技術指標：

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　　1.波長范圍：260-1700nm

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　　2.光斑尺寸：0.1-0.2-1mm;

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　　3.入射角：可以0.01度步長在45-90度范圍內自動改變；

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應用范圍：

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　　可測試材料有透明電介質(SiO2, SiON, Al2O3, HfO2, MgO, ZrO2等)、吸收電介質(SiN, a-C等)、無機半導體(TiO2, Ta2O5, ZnO等)、金屬(Al, Ag, Cr, Cu, Ti等)晶體半導體(AsGa, InP, InAs, HgCdTe, InGaP, ZnTe, CdTe等)、有機物、聚合物等。