檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：超高真空磁控濺射設備
- 價格型號：JGP560CVI
- 儀器分類：其他
- 應用領域：
- 所屬單位：江蘇大學
- 所在地點：
- 產 地：
- 產 商：沈陽中科儀技術發展有限公司
- 價 值：0
- 購置日期：0000-00-00
技術指標：極限真空度： 主濺射室6.6×10-5Pa，進樣室5×10-4Pa；工作真空度可調靶：磁控靶/射頻靶，水冷，射頻靶2×φ50，直流靶1×φ50 襯底： 多片樣品，可水冷，可加熱結構： 主濺射室φ350×280，夾壁水冷
儀器用途：金屬、非金屬材料薄膜制備
收費標準：30元/時
機組負責人：傅明喜 1395899379
