主要技術(shù)指標(biāo)：掃描范圍100 um (微米)，縱向分辨率優(yōu)于1 A (埃)，橫向分辨率優(yōu)于1 nm (納米)。

功能/應(yīng)用范圍：掃描探針顯微鏡(SPM)的納米量級(jí)的分辨率和光學(xué)顯微鏡的方便性相結(jié)合，使得本儀器能更廣泛地應(yīng)用于科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域。其應(yīng)用范圍包括：1.表面和材料科學(xué)。2.集成電路制造工藝中的測試。3.生物應(yīng)用。4.薄膜質(zhì)量評(píng)估。5.失效分析

技術(shù)特色：針對(duì)各類物理、機(jī)械、電子、化學(xué)、生物樣品均能提出對(duì)樣品制備的要求和建議，給出正確的測試方案；在測試完成后，幫助用戶進(jìn)行數(shù)據(jù)、曲線和圖像的評(píng)估和分析

要測試和研究領(lǐng)域：材料/珠寶首飾    電子/信息技術(shù)其他

收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)：其它收費(fèi)方式

儀器負(fù)責(zé)人：朱國棟 電話：02165642872

電子郵件：gdzhu@fudan.edu.cn