主要技術指標：(1)深度分辨率：幾個納米；(2)空間分辨率：<一個微米；(3)質量分辨率：m/m5000(4)檢測靈敏度：ppmppb；(5)絕緣層厚度為幾個微米的樣品質譜分析

功能/應用范圍：(1)樣品組分和雜質元素縱向分布的深度剖析；(2)樣品組分和雜質元素面分布的一維線掃描分析；(3)樣品組分和雜質元素面分布的離子圖象；(4)多層薄膜樣品組分和雜質元素分布及界面情況分析；(5)厚度為幾個微米絕緣層樣品的深度剖析

技術特色：(1)進行其它表面分析儀器所不能分析的元素氫(H)的檢測；(2)IC工藝結深、表面金屬化、背面金屬化和表面鈍化層的質譜檢測與深度剖析；(3)半導體材料和光電材料Si,GaAs,HgCdTe,Ge,AsGaIn和InP等的質譜檢測與深度剖析；(4)SOI材料性能和工藝的檢測；(5)機械設備和金屬材料中雜質元素氫(H)的檢測，氫脆和金屬疲勞機理的探討

主要測試和研究領域：材料/珠寶首飾電子/信息技術能源/核技術

收費標準：其它收費方式

儀器負責人：鐘高余 電話：021-65642393

電子郵件：ymcao@fudan.ac.cn,gyzhong@fudan.edu.cn

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