檢測認證人脈交流通訊錄

主要技術指標:真空度達1X10-6乇,襯底溫度可達100度直流濺射電源功率1000瓦
功能/應用范圍:有2個DC濺射靶,可以在真空狀態下濺射生成一類材料薄膜或多層不同薄膜,也可以兩種不同的材料共濺射,濺射時襯底可加熱,可自動操作,使用方便,對于研究材料和器件有很大作用。
主要測試和研究領域:材料/珠寶首飾電子/信息技術其他
收費標準:按樣品、小時數收費
儀器負責人:戎瑞芬 電話:65642390
電子郵件:rfrong@fudan.edu.cn
傳真:65103056


