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或者

南京大學國資處

檢測認證人脈交流通訊錄
  • 儀器名稱：電子束光刻機
  • 價格型號：e-LiNe
  • 儀器分類：其他
  • 應用領域：其他
  • 所屬單位：南京大學國資處
  • 所在地點：南京市鼓樓區漢口路22號
  • 產　　地：
  • 產　　商：Raith
  • 價　　值：6733000 元/臺
  • 購置日期：2009-03-01

　　技術指標

 

　　電子束斑：1kV加速電壓時小于4nm，20kV加速電壓時小于2nm；束流大小漂移：小于0.5%/8小時；束斑位置漂移：小于300nm/小時。

 

　　儀器用途

 

　　微納結構加工。

南京大學國資處

胡　凱

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