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復旦大學物理學系

檢測認證人脈交流通訊錄
  • 儀器名稱:電子束蒸發系統 (Thin Film Depostion System)
  • 價格型號:DE400
  • 儀器分類:工藝實驗設備/電子工藝實驗設備
  • 應用領域:電子元器件
  • 所屬單位:復旦大學物理學系
  • 所在地點:上海市楊浦區邯鄲路220號
  • 產  地:美國
  • 產  商:Thermionics Laboratory 公司
  • 價  值:0
  • 購置日期:0000-00-00

主要技術指標:電子槍功率3kW,本底真空10E-9Torr,6寸旋轉樣品托(可液氮冷卻),坩堝5*2.24cc

 

功能/應用范圍:蒸鍍各種金屬薄膜

 

主要測試和研究領域:電子/信息技術

復旦大學物理學系



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