檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：電子束蒸發鍍膜機
- 價格型號：LAB18
- 儀器分類：工藝實驗設備/電子工藝實驗設備
- 應用領域：電子元器件
- 所屬單位：復旦大學物理學系
- 所在地點：上海市楊浦區邯鄲路220號
- 產 地：美國
- 產 商：Kurt.J.Lesker公司
- 價 值：0
- 購置日期：0000-00-00
主要技術指標：系統的極限壓強可達≤5x10-8Torr；30分鐘從大氣壓抽到≤5x10-6Torr;坩堝的數目4個，坩堝的容量不小于7cc;電子槍功率不小于5kW。
功能/應用范圍：主要用于微納器件加工及光學薄膜、電輸運性質測量過程中高質量、厚度精確控制的金屬及氧化物薄膜的蒸鍍。主要蒸鍍材料包括：鈦、金、鎳、銀、鋁、三氧化二鋁、二氧化硅等薄膜等金屬單質、氧化物等；并特別考慮對Liftoff工藝的適合性。
主要測試和研究領域：電子/信息技術
