主要技術(shù)指標：采用3D Flatscan掃描器，掃描范圍:XY方向70um、Z方向70um，另外有30um和10um掃描器選配，掃描步進：70um掃描器＜1nm、10um掃描器＜0.1nm，掃描器厚度7mm,重量75克；近場光學顯微鏡分辨率大于50nm，依賴近場探針的孔洞尺寸。

功能/應用范圍：Nanonics專利的懸臂梁光纖探針(Cantilever NSOM probes)技術(shù),采用原子力顯微鏡的掃描、反饋方式，極大提高了NSOM信噪比，使得NSOM較易出圖容易操作；采用Nanonics專利的3D Flatscan掃描器，使得系統(tǒng)與光學顯微鏡、拉曼光譜、電子束、離子束兼容；Z向徑深達到70um；支持探針掃描和樣品掃描，唯一同時支持探針、樣品掃描的系統(tǒng)。可以實現(xiàn)突破光學衍射極限的成像，并可以探測樣品表面精細結(jié)構(gòu)的非輻射光場信息。

主要測試和研究領(lǐng)域：儀器/儀表其他