技　術(shù)　指　標(biāo) ： 測(cè)量范圍 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)； 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)； 電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm； 電阻：10-5～105 Ω； 可測(cè)晶片厚度 ≤3mm 可測(cè)晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))； 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))； 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))； 恒流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) 數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示； 四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)； 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證) 模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 ( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差 (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4% 整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4% 測(cè)試標(biāo)準(zhǔn) 采用雙電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，通過RTS-9雙電測(cè)測(cè)試軟件控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測(cè)測(cè)試原理公式計(jì)算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容RTS-8四探針測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)單電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，兩套軟件可同時(shí)使用。 軟件功能 軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。 計(jì)算機(jī)通訊接口 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)。 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃； 相對(duì)濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強(qiáng)光直射；