主要技術(shù)指標(biāo)：1雙溫區(qū)，溫度梯度最大可達(dá)200℃。最高工作溫度1100℃。2等離子發(fā)射源的輸出功率為5-500W，射頻頻率為13.56MHZ，反射功率最大為200W，自動(dòng)匹配，射頻接口為50?，噪音小于50db。冷卻方式為風(fēng)冷。電源為AC 208-240V,50/60HZ. 3無(wú)油真空泵機(jī)組，極限真空為10E-3Torr. 4質(zhì)量流量計(jì)精度為0.02%，數(shù)字顯示，自動(dòng)控制。MFC 1范圍：0-100sccm。MFC 2和3范圍：0-200sccm。MFC 4范圍：0-500sccm。5控溫系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)最高20℃/min的升降溫速率，可升至最高1100℃。可實(shí)現(xiàn)不同的升降溫工藝。

　　主要應(yīng)用領(lǐng)域：材料，電子與測(cè)量

　　檢測(cè)項(xiàng)目：等離子體化學(xué)氣相沉積分析

　　儀器聯(lián)系人：黃寒

　　聯(lián)系人電話：0731-88830323